作者：王乐乐,王晖,刘建华,王秋良,李献 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2012年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2012010370 DOC编号：DOCCGQJ2012010379 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对压控型八电极静电悬浮支承系统位移测量难的特点，设计了一种四轴非正交位移传感器电路。分析了四轴非正交位移传感器的测量原理，给出了保证转子地电位的方法，分析了位移测量的系统灵敏度，设计出位移传感器电路，并给出一种从支承高电压中分离位移信号的电路。实验证明：该位移传感器可以准确检测出转子的偏移，提高测量精度，达到了设计要求，为八电极静电悬浮系统的测量提供了可靠的保证。

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