《基于ZnO传感器的高流速气体压力测试》PDF+DOC
作者:曾垂义,张源,徐甲强,陈学东
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2012年第09期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2012090030
DOC编号:DOCCGJS2012090039
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针对机械系统中气体轴承间气膜压力的分布检测,提出并研发了一种基于ZnO传感器的检测方法。ZnO纳米颗粒敏感材料采用化学沉淀法制备;用X射线衍射和扫描电镜对其进行了表征。利用ZnO传感器的响应电压与动态气体压力的关系,成功测试出高压动态气体的压力。分析了氧气吸附、压电效应和热传导对响应电压的影响,拟合出对应的气体压力-响应电压关系曲线,本研究为高流速气体压力的测试提供了一种新途径。
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