作者：袁寿财,王紫玉,范小林 单位：中国电子科技集团第四十四研究所 出版：《半导体光电》2012年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTG2012040060 DOC编号：DOCBDTG2012040069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 设计了一种简化的铝栅MOS半导体器件制作工艺流程，用6张掩模版成功制作出了基于表面电场效应原理的生物检测硅芯片传感器，采用SiO2-Si3N4复合栅介质层及耗尽型器件结构，以增强器件的识别与检测灵敏度。该传感器与常规铝栅MOS晶体管相比，去除了介质层表面的栅极导电层，代之以自组装技术制作生物薄膜并辅以栅参考电极作为控制栅极。用所制作的硅芯片传感器检测了相关生物蛋白质的电流响应，给出了该电流响应与器件沟道长度和沟道电阻及生物蛋白浓度等参数的关系，得到了较为满意的检测数据，达到了预期的基于表面电场效应的硅传感器制作和生物检测的目的。

    📙 相关资料

    1. 《硅传感器使机械传感器相形见绌》PDF+DOC 硅传感器使机械传感器相形见绌在大批量汽车市场的强劲需求推动下，传感器已从昨天的笨重机械结构发展成用传统半导体加工技术制作的集成智能器件。由于这种器件能确保安全面可靠的运作，因而基于硅的传感器不仅广泛应用于汽车领域而且也用于实验室和医疗仪器、过程控制系..。...
    2. 《硅加速度传感器芯片的优化设计研究》PDF+DOC 介绍了最新设计的双E型硅传感器芯片的结构及其形成工艺。通过控制不同的敏感硅芯片弹性膜的 厚度，即可制得不同量程的双E型敏感硅芯片和加速度传感器。...
    3. 《重庆建中德MEMS传感器智能制造基地》PDF+DOC 重庆两江新区签约建设中德MEMS传感器智能制造基地，预计产值将达6.2亿元人民币。当日与两江新区签约的是重庆德尔森传感器技术有限公司，由德国Muese公司与中方数家公司合资成立，研发制造的传感器主要涉及新能源汽车、智能建筑与智能家居、可穿戴设备、工业4.0系统等领域。德国Muese公司董事长陈立新接......
    4. 《生物检测技术在食品检测中的实际应用》PDF+DOC 食品检测技术已经得到了很大的发展，特别是生物检测技术极大地促进了食品检测行业的发展，其贯穿于整个食品检测的各个环节，是食品检测中非常有效便利的检测方法，具有良好的发展前景。本文对生物检测技术在食品检测中的实际应用展开讨论和研究，以促进食品检测的发展。...
    5. 《葡萄糖氧化酶多层膜修饰电极的电化学性能的研究》PDF+DOC 利用层接层自组装法，制备出有序且稳定的葡萄糖氧化酶的多层膜.应用电化学方法和XRD方法研究了膜修饰电极的电化学传感性能.结果表明：该传感器具有较好的重现性和稳定性，传感器对葡萄糖的响应非常迅速；每次加入葡萄糖后，电极的电流响应会随之出现跳跃性增大，酶电极达到96%，稳态电流响应的时间仅为3 s；灵敏......
    6. 《用于高电压技术下的光电压传感器》PDF+DOC 介绍230kV光电压传感器的结构和测试。这种光电压传感器采用三个电/光电场传感器，其安装位置和输出都分别按照求积分的方法选择和组合，以获得电压测量值。即使在现场环境改变而引起电场干扰的情况下，该光电压传感器输出的电压测量值也满足IEC0.2%级标准。...
    7. 《硅基驻极体微型声-电传感器的研究现状》PDF+DOC 综述了近20年来硅传感器研究工作的现状与进展。硅微型传声器具有小尺寸（振膜面积约为1 mm2量级），由于极薄的振膜厚度（＜1 μm）导致其低振动灵敏度，传感单元的可集成化和传感器与放大器的一体化工艺，以及由于应用刻蚀工艺的器件制作的低成本等优点。...
    8. 《应用MEMS技术,可以缩小传感器与探测器的体积——采用晶圆片大小的红外线气体探测器,可以制成体积小,精度高,可靠性也高,但是价格便宜的光学仪器。》PDF+DOC 有一家传感器制造商，已经开始应用MEMS技术，在芯片上制造气体探测器样品了。这家公司的专有技术，有可能将体积庞大，价格昂贵的气体与化学品探测器和仪器制作在硅芯片上；这样的探测器，不论从体积大小方面考虑，还是从价格成本方面考虑，都能满足商业化的要求。...
    9. 《生物传感用巨磁电阻传感器及其磁珠检测性能》PDF+DOC 本文采用直流磁控溅射沉积了结构为NiFeCo(缓冲层)/[Cu/NiFeCo]&#215；10/Ta，巨磁电阻(GMR)值为9.8%的多层膜，利用微细加工技术制备了基于此GMR多层膜的生物传感器，GMR电阻线条的线宽分别为3μm和5μm。测试了单个GMR传感器的特性，并将该传感器件和外接可调......
    10. 《自动化仪表与控制系统的现状与发展趋势综述》PDF+DOC 为了推进我国仪器仪表技术的发展，详细分析了国内外仪器仪表行业发展的现状，介绍了我国近来所取得的巨大进步，同时也阐述了国内外发展的主要差距。简单讨论了我国自动化仪表的发展方向，并对今后的发展提出了建议。研究结果为我国自动化仪表行业的发展提供了一定的参考依据。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。