作者: 单位:中国电子科技集团公司第十三研究所 出版:《微纳电子技术》2012年第03期 页数:1页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFBDTQ2012030070 DOC编号:DOCBDTQ2012030079 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 《微纳电子技术》于2002年创刊(月刊),在2011年的中文核心期刊评选中被收录进最新版(2011年版)《中文核心期刊要目总览》,再次成为中文核心期刊。栏目分为:技术论坛,器件与技术,材料与结构,MEMS与传感器,加工、测量与设备,国际视点。主要内容包括:

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