作者:朴林华,崔雪梅,王星,余全刚,梅传志,张保丽 单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版:《压电与声光》2012年第02期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYDSG2012020130 DOC编号:DOCYDSG2012020139 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 提出了一种能敏感全方位水平姿态的微机械传感器。采用微机械工艺制作的正八边形敏感元件敏感全方位水平姿态;通过前置信号电路和数字电路构成信号处理电路,实现倾角电压信号的提取,全方位信号合成和全方位倾角信号的灵敏度补偿。测试结果表明,分辨率优于0.1°,方位角测量范围可达360°,倾斜角度测量范围可达到20°。该传感器不仅体积小,且结构紧凑,工艺简单,敏感元件输出一致性好,适于批量生产。

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