《光谱共焦位移传感器镜头设计研究》PDF+DOC
作者:武芃樾,袁道成
单位:成都工具研究所
出版:《工具技术》2012年第02期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGJJS2012020420
DOC编号:DOCGJJS2012020429
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光谱共焦位移传感器是一种高精度、非接触式位移传感器。本文讨论了光谱共焦法用于位移测量的基本原理,用Zemax光学设计软件完成了一个镜头组的设计,并给出了光谱共焦位移传感器镜头组的设计方法以及像差分析。该镜头组采用密接透镜结构,工作波段为486.13nm-656.27nm,测量范围约为91μm,轴向响应FWHM优于5μm。通过线性回归分析得出波长与位移间判定系数为0.99523,在测量范围内,位移与波长间的线性关系较好。
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