作者：许高斌,韩成成,陈兴 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2012年第12期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2012120070 DOC编号：DOCBDTQ2012120079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计了一种Z轴完全差分电容式加速度传感器，交错梳齿、两组对称可动梳齿通过挠性梁连接在固定衬底上，对称布局使结构稳定并解决了X和Y轴向对Z轴向加速度检测的耦合干扰。对传感器在敏感方向加速度作用下的偏转特性进行分析，给出了相关理论模型并对其求解。对传感器在非敏感方向加速度作用下的扭转变形进行分析，计算该扭转对Z轴检测产生的干扰与结构之间的关系。通过结构的优化设计，使传感器在设计的量程范围内达到最佳检测效果。利用ANSYS进行模拟分析，得到该传感器的灵敏度为0.31 fF/g，验证了本设计分析的合理性、可行性和精确性。

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