作者：刘尧,唐军,刘俊,曹卫达 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2012年第10期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2012100130 DOC编号：DOCCGJS2012100139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对目前角速度传感器检测维数单一、体积大的缺点，以蜜蜂平衡棒为仿生模型，详细分析了平衡棒的导航原理，结合MEMS技术，设计了一种新型的三维角速度微传感器。利用ANSYS对传感器结构进行仿真、优化，得到了合适的结构尺寸，在&#177；20 V的驱动电压下，传感器结构中的微柱体摆动幅度可达到7.04&#176；，通过进一步理论计算得到翻滚、俯仰角速度产生的哥氏力为2.467&#215；10-5N/(&#176；.s-1)，偏航角速度产生的哥氏力为7.58&#215；10-7N/(&#176；.s-1)。

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