作者：王俊杰,秦会斌 单位：中国电子科技集团公司第五十八研究所 出版：《电子与封装》2015年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDYFZ2015050010 DOC编号：DOCDYFZ2015050019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对压力传感器隔离式封装中的波纹膜片这一关键部件，采用有限元分析的方法研究了波纹膜片的厚度、波纹深度和波纹数目分别对最大压力约0.1 MPa下的压力传感器输出信号的影响，优化了波纹膜片结构的参数选择。通过对封装了不同波纹膜片的样品的测试与比较表明，较小的膜厚与波纹深度、较多的波纹数目有助于提高压力传感器的性能，从而验证了波纹膜片结构优化的正确性。

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