作者：阎文静,张鉴,高香梅 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2012年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2012020040 DOC编号：DOCCGSJ2012020049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《单向差分压力和双向差分压力传感器的测量》PDF+DOC2016年第05期 N.Rauch,施林生 《带筋片和凸台的高灵敏度压力传感器》PDF+DOC1994年第03期 袁凤 《一种新型有源温度补偿硅压力传感器》PDF+DOC1991年第01期 方凯,王荣 《硅四端型膜片式压力传感器的优化设计与分析》PDF+DOC1989年第03期 李乃平,刘三清,应建华 《硅压力传感器的非线性分析及优化设计》PDF+DOC2003年第01期 沈桂芬,付世,丁德宏,姚朋军,张宏庆,范军,吕品 《ANSYS在高精度压力传感器感压膜片结构分析中的应用》PDF+DOC2011年第06期 黄林静,朱目成 《牺牲层结构压力传感器技术》PDF+DOC2009年第05期 揣荣岩,郑雁公,刘本伟,王文东,崔林,李新 《压阻式微型压力传感器敏感结构设计》PDF+DOC2008年第06期 易选强,苑伟政,马炳和,陈爽,邓进军 《自增强承压圆筒结构的超高压力传感器》PDF+DOC2013年第12期 郭鑫,热合曼·艾比布力,王鸿雁,赵立波,蒋庄德 《带不锈钢隔膜的硅压阻压力传感器》PDF+DOC1998年第01期 刘永刚,李兵,穆建军

    • 微压力传感器是微机电领域最早开始研究并且实用化的器件之一，它结构简单、用途广泛。本文介绍了基于压阻效应及惠斯顿电桥的压阻式压力传感器。介绍了膜的面积、厚度、电阻形状和位置等参数对压阻式压力传感器的灵敏度和线性度的影响。

    📙 相关资料

    1. 《单向差分压力和双向差分压力传感器的测量》PDF+DOC 在压力测量中，通常是根据测量要求来提出不同的物理测量方法，比如绝对压力、相对压力(表压)和差分压力的测量。然而对于差分压力的测量往往有许多不同的理解。以硅压阻压力传感器AMS 5812为例介绍有关各种压力测量的不同应用情况，同时对硅压阻芯体相关的结构和惠斯顿电桥信号放大作了介绍。...
    2. 《带筋片和凸台的高灵敏度压力传感器》PDF+DOC 带筋片和凸台的高灵敏度压力传感器ＲａｌｐｈＨ．Ｊｏｈｎｓｏｎ等１．前言高灵敏度低非线性硅原阻压力传感器是人们长期为之奋斗的目标。但实现这个目标的方法已经有了改进，目前主要关心的是凸台方法。通常采用全厚度的凸台或接近全厚度的凸台以使加工过程简化。这些方..。...
    3. 《一种新型有源温度补偿硅压力传感器》PDF+DOC 本文是根据晶体管的发射结偏压随温度变化的关系，来代换扩散硅压力传感器中利用扩散电阻进行温度补偿的原理和优越性。...
    4. 《硅四端型膜片式压力传感器的优化设计与分析》PDF+DOC 本文从理论上分析了硅剪切压阻系数的择优取向，以及在矩形、方形和圆形弹性膜片上欲获得较大剪应力，电阻条的布局原则。利用本文提供的方法，对某些膜片上的四端应变电阻所进行的布局分析与Kanda用有限差分法计算出来的布局结果基本一致。文中还提出了膜片上一些新的布局，供设计者选用。...
    5. 《硅压力传感器的非线性分析及优化设计》PDF+DOC 分析了硅压力传感器的线性与非线性 ，讨论了非线性产生的原因 ，并提出了硅压力传感器的优化设计方法...
    6. 《ANSYS在高精度压力传感器感压膜片结构分析中的应用》PDF+DOC ANSYS作为最通用最有效的有限元软件之一，在计算数学、计算力学和计算工程科学领域都得到了的广泛的应用。本文正是利用ANSYS软件强大的有限元分析功能，对压力传感器感压膜片在一定压力下变形情况进行分析，实现感压膜片的应力分析。...
    7. 《牺牲层结构压力传感器技术》PDF+DOC 为使多晶硅纳米薄膜良好的压阻特性在微机电系统压阻传感器中得到有效应用，在设计牺牲层结构压力传感器芯片中探索性地采用多晶硅纳米薄膜作为应变电阻，并对这种传感器的工艺方法进行了研究.通过对牺牲层材料及结构的分析，给出了传感器的工艺流程，指出其中存在的工艺难点并给出了解决方法.利用牺牲层技术和多晶硅纳米薄......
    8. 《压阻式微型压力传感器敏感结构设计》PDF+DOC 在设计某一压阻式压力传感器特定敏感结构的过程中，对出现的技术难题进行了研究。文中的第2部分设计了弹性膜片的典型结构；第3部分设计了压敏电阻的尺寸以及阻值；第4部分使用ANSYS软件分析了弹性膜片在不同压力作用下的应力、应变分布，确定了压敏电阻在弹性膜片上的最佳分布位置。分析结果表明：压敏电阻距离弹性......
    9. 《自增强承压圆筒结构的超高压力传感器》PDF+DOC 采用自增强技术与硅压阻效应研制了超高压力传感器，该传感器能够消除封装残余应力的影响并保证其在进行大量程压力测量时具有较高的灵敏度输出。该传感器的弹性元件为圆筒结构的高强度弹簧钢，敏感元件为平膜倒杯式硅压阻芯片。传感器工作时，超高压力作用在圆筒结构的金属弹性元件使其发生轴向位移，该位移量通过弹性元件顶......
    10. 《带不锈钢隔膜的硅压阻压力传感器》PDF+DOC 带不锈钢隔膜的硅压阻压力传感器在航天等许多领域应用很广。它的压力应变膜片是硅应变膜片，其制造工艺是集成电路及微机械加工工艺。将不锈钢隔膜、灌充液及硅应变膜片有机地结合起来，使传感器的精度高、可靠性好、稳定性好及动态性能好，不但用于普通气体及液体的压力测量，还可用于腐蚀性介质的压力测量。文中介绍其工作......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。