《聚合物波导马赫-曾德折射率传感器的设计和制备》PDF+DOC
作者:沈学可,戚志鹏,李玲玲,林军,恽斌峰,崔一平
单位:天津理工大学
出版:《光电子·激光》2015年第03期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGDZJ2015030090
DOC编号:DOCGDZJ2015030099
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以聚合物ZPU44和ZPU46作为波导包层和芯层材料,设计并制备了基于Mach-Zehnder干涉仪(MZI)的集成折射率传感器。设计并优化了波导截面参数、弯曲半径和传感窗长度等结构参数,分析了其折射率传感特性,进而采用光刻、反应离子刻蚀(RIE)等传统的微加工工艺制备了聚合物MZI折射率传感芯片。测试结果表明,制备的聚合物MZI传感器在1.33~1.44的折射率变化范围内具有较好的线性度,折射率灵敏度约为88dBm/RIU,与设计基本符合。本文的聚合物折射率传感器传感窗长度小,容易实现阵列化,在生化传感领域有很好的应用前景。
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