作者:沈学可,戚志鹏,李玲玲,林军,恽斌峰,崔一平 单位:天津理工大学 出版:《光电子·激光》2015年第03期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFGDZJ2015030090 DOC编号:DOCGDZJ2015030099 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《高精度全聚合物MZI波导传感器》PDF+DOC2017年第03期 刘豫,谢泰洋,衣云骥,张大明 《基于微纳光纤与平面光栅的复合光波导折射率传感器》PDF+DOC2017年第09期 马成举,常会敏,王晨羽,韩佟飞,韩学峰 《一种新型光纤MZI折射率传感器》PDF+DOC2020年第05期 关寿华 《聚合物波导型表面等离子体共振传感器的特性研究》PDF+DOC2013年第07期 张以亮,汪建斌,黄晓亮,张丹 《带有U形波导的双微环级联结构的传感特性分析》PDF+DOC2016年第05期 张鑫,简家文,郑雁公,邹杰,李福安 《光纤模斑谱传感器复合材料固化监测研究》PDF+DOC1998年第04期 张博明,杜善义,王殿富 《表面等离子共振传感器的研究进展》PDF+DOC2004年第05期 吴英才,袁一方,徐艳平 《硅基光波导化学传感器研究》PDF+DOC2009年第07期 吴远大,安俊明,李建光,王玥,尹小杰,张家顺,王红杰,胡雄伟 《镀有SiO_2-WO_3薄膜LPFG折射率传感特性研究》PDF+DOC2007年第02期 彭勇,程轶 《基于光子晶体波导的折射率传感器的灵敏度优化设计》PDF+DOC2014年第05期 柯林佟,陈卫业,张洋,李荣生,沈义峰
  • 以聚合物ZPU44和ZPU46作为波导包层和芯层材料,设计并制备了基于Mach-Zehnder干涉仪(MZI)的集成折射率传感器。设计并优化了波导截面参数、弯曲半径和传感窗长度等结构参数,分析了其折射率传感特性,进而采用光刻、反应离子刻蚀(RIE)等传统的微加工工艺制备了聚合物MZI折射率传感芯片。测试结果表明,制备的聚合物MZI传感器在1.33~1.44的折射率变化范围内具有较好的线性度,折射率灵敏度约为88dBm/RIU,与设计基本符合。本文的聚合物折射率传感器传感窗长度小,容易实现阵列化,在生化传感领域有很好的应用前景。

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