作者：朱龙俊 单位：天津市工业自动化仪表研究所;天津市自动化学会 出版：《自动化与仪表》2012年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDHY2012030150 DOC编号：DOCZDHY2012030159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 扩散硅压力传感器的传输特性受温度影响较大，必须采用某种手段将传感器的输入压力与温度进行解耦，从而实现对压力传感器输出的有效补偿，进而得到准确可靠的压力测量值。文中分析了一般扩散硅压力传感器的误差组成，针对误差提出了一个简单而又高精度的补偿模型，建立了有效算式，最后通过实例验证了算法的正确性，其精度可达到0.1%FS以下。

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