作者：付琛,李红浪,王秀东,梁勇,何世堂 单位：中国科学院声学研究所 出版：《声学学报》2012年第02期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXIBA2012020100 DOC编号：DOCXIBA2012020109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出一种ANSYS分析Love波传感器性能的有限元方法。根据Love波传感器的特点，施加一维近似假设和周期性边界条件建立了由压电基片，金属电极和波导层组成Love波传感器的三维有限元分析模型，并在此模型分析结果基础上提取结构的特征频率。一方面运用开路和短路条件下的特征频率来计算机电耦合系数，另一方面结合微扰理论的计算得到器件的质量灵敏度。最后通过这两个参数来选取波导层厚度，使器件达到最优的性能。在不同的波导层厚度情况下，计算了SiO_2/ST-90&#176；X石英和SiO_2/36&#176；Y-X LiTaO_3两种结构Love波传感器结构的仿真结果，得到了这两种结构的波导层最优的厚度分别为0.11λ和0.2λ。与已报道的文献和实验的结果对比，本文所采用的方法明显优于传统的均匀层状结构理论分析的结果，通过仿真不同结构和材料参数的器件性能，有效地指导Love波传感器的设计。

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