作者：张立喆,张力,段玉培,黄彩霞 单位：中国航空工业集团公司;北京长城计量测试技术研究所 出版：《计测技术》2012年第S1期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHKJC2012S10330 DOC编号：DOCHKJC2012S10339 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 分析了现有光纤压力传感器的原理与结构，选择非本征型法布里-珀罗腔作为研究目标，建立了测压的数学模型，开展了微机电加工工艺研究，探索了包括研磨、腐蚀、减薄与键合等特殊工艺，批量制作的法布里-珀罗腔具有一致性；建立了一套基于机器视觉的测量与焊接系统，能够在线精确测量与焊接控制，实现光纤与准直管的焊接以及准直管与法布里-珀罗腔的焊接。利用本系统，制作出传感器灵敏度为1.765 nm/kPa，在不采用非线性拟合校正的条件下，膜片挠度-压力的线性度为99%，重复性为1%，迟滞为0.7%，温度敏感系数为0.15 nm/℃，零位长时漂移小于2 nm。

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