作者:李艳杰,齐虹 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2012年第05期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2012050260 DOC编号:DOCCGQJ2012050269 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 基于托马斯(Thomas)流量计原理,研制了热膜式流量传感器芯片。该敏感元件采用MEMS工艺,制作出了3μm厚度的带固支边的敏感膜结构,在膜上设计有一只加热电阻器和一组微型热敏电阻器。通过工艺研究,解决了膜上Pt电阻与基底的热匹配问题,并将该芯片应用于汽车进气流量传感器研制中。测试结果表明:使用该芯片流量传感器的测量准确度为1%FS,满足发动机系统使用要求。

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