《基于MEMS工艺的热膜式流量传感器芯片的研制》PDF+DOC
作者:李艳杰,齐虹
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2012年第05期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2012050260
DOC编号:DOCCGQJ2012050269
下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《热隔离式MEMS气体质量流量传感器设计》PDF+DOC2016年第06期 谷永先,曾鸿江,邬林,胡娜娜,钱江蓉
《热隔离式MEMS气体流量传感器的设计及标定》PDF+DOC2018年第02期 李晓琴,赵双双,牛海霞
《热式MEMS流量传感器的设计及测试》PDF+DOC2017年第04期 胡梦飞,杨露露,刘亚伟,谷永先,胡国俊,吕品
《微量程段的热式气体质量流量传感器研制》PDF+DOC2018年第07期 胡娜娜,刘莹,徐露,钱江蓉,胡国俊
《电阻悬浮的MEMS热膜式气体流量传感器设计》PDF+DOC2012年第09期 代富,高杨,官承秋,周斌,何移
《热膜式流量传感器的封装研究》PDF+DOC2010年第06期 程颖
《基于恒温法的热膜式气体流量传感器的设计》PDF+DOC2009年第06期 蔡春丽,刘志远,王惠玲,于海超,王洪岩
《基于梁膜结构的MEMS高g值加速度传感器》PDF+DOC2014年第02期 李晓博,赵玉龙,程荣俊
《MEMS热式微流量传感器发展综述》PDF+DOC2015年第01期 张元,李辉
《硅热流量传感器的研究与发展》PDF+DOC2001年第01期 张昭勇,秦明,黄庆安
基于托马斯(Thomas)流量计原理,研制了热膜式流量传感器芯片。该敏感元件采用MEMS工艺,制作出了3μm厚度的带固支边的敏感膜结构,在膜上设计有一只加热电阻器和一组微型热敏电阻器。通过工艺研究,解决了膜上Pt电阻与基底的热匹配问题,并将该芯片应用于汽车进气流量传感器研制中。测试结果表明:使用该芯片流量传感器的测量准确度为1%FS,满足发动机系统使用要求。
提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。