作者：韩郁,刘丽,陕皓,王连元,李守春,李伟,田云霞,魏爱国 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2012年第12期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2012120040 DOC编号：DOCYBJS2012120049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微结构气体传感器的加热器设计与模拟》PDF+DOC2004年第05期 张彤,杨广立,李春明,徐宝琨 《微结构气体传感器的优化设计》PDF+DOC2005年第03期 李春明,张彤,刘丽,徐宝琨 《微气体传感器结构设计和优化》PDF+DOC2013年第01期 张晓波,陕皓,刘丽,王连元,李守春,王国光 《硅基微结构气体传感器结构的有限元模拟分析》PDF+DOC2003年第04期 杨广立,张彤,李春明 《ANSYS有限元分析软件在微结构气敏元件电极设计的问题研究》PDF+DOC2015年第02期 刘航,李洋 《微气体传感器微热板电极结构的设计与优化》PDF+DOC2014年第09期 刘丽丽,王连元,郭欣,刘震,刘丽 《热Σ-Δ调制技术及在MEMS气体传感器中的应用》PDF+DOC2015年第08期 张旭辉,徐爱东 《基于ZnO的微气体传感器的设计与优化》PDF+DOC2017年第06期 官修龙,刘丽,刘震,何越,王连元 《新型共平面微气体传感器微热板的优化设计》PDF+DOC2017年第09期 官修龙,刘丽,何越,王连元 《气体传感器阵列中微加热器的发展现状》PDF+DOC1998年第04期 何秀丽,南金,戴国瑞

    • 利用铂作为电极材料，SiO2作为隔热层，在单晶硅衬底上，设计了一种新型微结构气体传感器的电极结构。这种共平面型电极结构消除了加热器产生的磁场对测量信号的干扰。通过有限元分析工具分析加热器和信号电极在不同宽度与间距下的温度分布。当加热器宽度为100μm，信号电极宽度35μm，间距为70μm，传感器获得均匀的温度分布和低功耗，有利于传感器整体性能的提高。

    📙 相关资料

    1. 《微结构气体传感器的加热器设计与模拟》PDF+DOC 利用有限元分析工具ANSYS，对所设计的硅基微结构气体传感器的温度场进行了模拟。运用实体建模的方法建立了传感器衬底的多层结构模型，采用8节点等参数热单元solid70进行了分析。根据器件工作时需要的加热功率，设计了这种硅基气体传感器衬底微加热器的尺寸，确立了对流和环境温度等边界条件，从而达到气体传感......
    2. 《微结构气体传感器的优化设计》PDF+DOC 利用SiO2相对于SiNx有更低的热导率，作为膜式微气体传感器的热绝缘和电绝缘层，而单晶Si适合通过各向异性腐蚀形成倒杯状结构来支撑SiO2膜。将膜式微气体传感器中的加热器和信号电极设计在一个平面上，以减小工艺复杂度，获得较高的加热效率。利用有限元分析工具ANSYS分析比较加热器和信号电极在不同宽度......
    3. 《微气体传感器结构设计和优化》PDF+DOC 设计了一种新型微气体传感器的电极结构，这种共平面型电极结构消除了加热器产生的磁场对测量信号的干扰。利用铂作为电极材料，SiO2作为隔热层，利用有限元软件分析优化，当SiO2，Si的厚度分别为50，250μm，加热电极的宽度、信号电极的宽度和间距分别为150，15，60μm时，传感器获得的中心温度较高......
    4. 《硅基微结构气体传感器结构的有限元模拟分析》PDF+DOC 利用金属铂的热阻、热敏特性 ，以及 Si O2 和 Si Nx 良好的绝热、绝缘特性 ，设计一种以铂丝为加热层 ，叉指状的金电极为敏感膜信号电极...
    5. 《ANSYS有限元分析软件在微结构气敏元件电极设计的问题研究》PDF+DOC 微热板是微结构气敏元件的重要组成部分，采用Si作为基底，通过氧化腐蚀形成Si O2绝缘层，在绝缘层上选用Pt完成电极层的制作.利用ANSYS有限元分析工具对微结构气敏传感器的微热板的结构设计进行仿真，通过仿真得到的结果和数据，对器件的整体结构和尺寸进行优化。...
    6. 《微气体传感器微热板电极结构的设计与优化》PDF+DOC 设计了一种微气体传感器微热板的电极结构，利用有限元分析工具ANSYS对该微热板的温度场和磁场分布进行了分析和优化，研究了微热板加热电极的宽度和间距对温度分布的影响，并对测量电极的结构进行了优化。结果表明：当微热板加热电极的宽度和间距分别为20μm和10μm且测量电极为无叉指结构时，微热板中心区域能获......
    7. 《热Σ-Δ调制技术及在MEMS气体传感器中的应用》PDF+DOC 微加热器是MEMS气体传感器的重要功能部件，其结构设计与温度控制是MEMS气体传感器设计的重要环节。针对一类典型MEMS气体传感器设计了一款采用热Σ-Δ调制技术的电路，对其微加热器进行闭环温度控制，相比传统的模拟闭环控制电路，该电路结构简单，对元件失配性要求低，在实现温度控制的同时实现了加热器激励信......
    8. 《基于ZnO的微气体传感器的设计与优化》PDF+DOC 设计了一种新型Zn O微气体传感器的结构，利用有限元分析软件ANSYS对该传感器的结构进行了分析，并对传感器的基底三层材料的厚度、加热电极的宽度和间距以及测量电极的宽度参数进行了优化，结果得出：当传感器基底中前Si O_2层、中间Si层、后Si O_2层的厚度分别为10，140和150μm，加热电极......
    9. 《新型共平面微气体传感器微热板的优化设计》PDF+DOC 利用金属铂良好的热敏、热阻特性，以及Si O2良好的绝热、绝缘性能，设计了以铂为加热电极、以Si O2为绝缘材料的新型共平面微结构气体传感器。为了使该传感器获得高且均匀的温度分布，利用有限元软件ANSYS对该传感器的电极和基底进行仿真分析，并进一步优化该传感器的基底以及电极参数。仿真结果表明：传感器......
    10. 《气体传感器阵列中微加热器的发展现状》PDF+DOC 本文总结了气体传感器中微加热器的材料、结构及热特性，列举了常见的几种微加热器，对Ｐｔ加热器和多晶Ｓｉ加热器进行比较，并在此基础上简要介绍了传感器阵列中微加热器的制作及气体传感器阵列的气敏特性。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。