作者：孙恺,王明湘 单位：苏州大学 出版：《苏州大学学报(工科版)》2012年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSILK2012040020 DOC编号：DOCSILK2012040029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了霍尔传感器的工作原理，针对地磁测量的应用制作了基于十字形结构的硅霍尔传感器，并测试了器件灵敏度。测试结果显示灵敏度与器件工作区的掺杂浓度(NS)成反比，与器件十字形结构的长宽比(L/W)成正向依赖关系。详细介绍了磁集中器的原理及集成工艺，测试结果显示制作的器件实现了三轴测量，且三轴输出与理论预期相符。

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