作者：杨汇鑫,宋业生,胡龙京,杨伟兵 单位：北京国际科技服务中心 出版：《科技资讯》2012年第04期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZXLJ2012040570 DOC编号：DOCZXLJ2012040579 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文给出来一种应用于油井井下恶劣环境下的SiC MEMS谐振应变传感器。该传感器是一个质量平衡双端音叉(BDETF)，由沉积在硅基板的3C-SiC薄膜制备而得。该器件在大气环境下，从室温到300℃以上均可振荡。对该器件施加10000g的冲击(垂直于器件表面)而无损失和谐振频率漂移。该传感器具有66Hz/με，这与目前的硅传感器相当。

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