作者：雷焱焱,谷阳钦 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2012年第09期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2012090010 DOC编号：DOCCGSJ2012090019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • MEMS梳齿位移传感器是一种基于MEMS技术电容理论的传感器，具有体积小、重量轻、性能稳定、功耗低和易于集成等特点。首先探讨了梳齿传感器的工作原理，随后介绍了使用梳齿传感器有效检测微动工作台位移的方法，并进行了结构失效和梳齿电极不平行失效的可靠性分析。通过采用这种传感器可以达到提高微位移定位平台系统的集成度、精度、分辨率和减小定位平台系统体积的目的。

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