作者：肖友文,谢贵久,何峰,张建国,袁云华,宋祖殷 单位：中国电子科技集团公司第四十七研究所 出版：《微处理机》2012年第05期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWCLJ2012050010 DOC编号：DOCWCLJ2012050019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 薄膜热流传感器具有响应时间快，体积小等优势，可用于航空、航天等领域高速飞行器表面短时间的高温热流瞬态测量。热流传感器原理基于不同热障层薄膜下薄膜热电偶温度变化量的大小，通过离子束溅射镀膜工艺成功制备快速响应薄膜高温热流传感器。试验结果表明：该传感器热响应时间可达0.1s，温度可达900℃。

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