作者：吕秀杰,夏需强,唐帅,赵勇,王全全 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2015年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2015010060 DOC编号：DOCYBJS2015010069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对航空航天领域对高温极端条件下压力测量的高性能要求，提出一种基于碳化硅(Si C)弹性敏感膜片曲率变形来实现反射式光纤传感测量压力的方法。基于弹性力学理论和网格模拟方法探讨了敏感元件Si C圆平膜片的应力和形变分布，推导出光纤反射式微机电系统Si C压力传感器的数学模型，并对Si C压力传感器敏感元件的最大量程、灵敏度、输入-输出特性等进行了一系列的优化分析和计算机模拟。仿真结果表明了Si C敏感膜片的光测力灵敏度最优设计方法，在大量程范围内具有优越的线性工作特性，为研发大量程碳化硅基微光机电系统(MOEMS)压力传感器提供了有力的理论依据。

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