作者：杜春晖,何常德,葛晓洋,于佳琪,熊继军,张文栋 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2012年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2012060100 DOC编号：DOCYDSG2012060109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出了一种新型的MEMS压阻式加速度传感器，该传感器采用“四悬臂梁-质量块”结构，16个压敏电阻完全对称布放于悬臂梁上应力变化的线性区，既提高了传感器的灵敏度，又降低了轴间耦合度和非线性度。通过与八悬臂梁结构的仿真对比，得出该传感器具有更高的抗横向耦合性，约为八悬臂梁结构的30倍。

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