作者：马玉真,于永新,孙选,郑义忠 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2012年第10期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2012100030 DOC编号：DOCCGJS2012100039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对小孔的结构特点，介绍了电容传感器探针测量小孔孔径的原理；分析了测量时电容传感器由于参数的线性化、电容探针与小孔的中心线偏心带来的测量误差；并针对以上因素影响，采取了自动对中机构实现测量过程中的最小化偏心，通过标定得到了孔径值与测量值之间的对应关系。实验结果表明，系统的重复性精度可达到0.186μm，稳定性能达到6 h内漂移不超过0.375μm，该指标完全可以满足实际测量要求。

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