作者:姚伟,刘玺,周明军,武强 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2012年第08期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2012080040 DOC编号:DOCCGQJ2012080049 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 以流延成型工艺制备钇稳氧化锆(YSZ)基片,采用丝网印刷、等静压叠层工艺,经1450℃共烧结制备极限电流式氧传感器。采用XRD,SEM对其物理性能进行表征,并在650℃、氧体积分数为0%~90%范围内对该陶瓷器件的伏—安特性、响应时间等输出特性进行研究,实验结果表明:该传感器在其体积分数范围内具有良好的极限电流平台,响应时间小于9 s(氧体积分数从20%~75%),准确度达到0.5%。

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