作者：赵文杰,施云波,罗毅,李国龙,周真 单位：中国仪器仪表学会 出版：《仪器仪表学报》2012年第12期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQXB2012120270 DOC编号：DOCYQXB2012120279 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 采用微机电系统(micro-electro-mechanical system，MEMS)技术设计和制作了一种基于氮化铝(aluminum nitride，AIN)基热隔离四阵列热流量风速风向传感器，并同时集成了一个环境温度传感器。在厚度为0.2 mm的AlN基片上通过光刻剥离工艺和激光微加工工艺实现2D微结构风速风向传感器制备。传感器由中间加热器、4个温度探测器和1个温度传感器组成，4个温度探测器之间通过激光微加工刻蚀8个热隔离通孔以减少热传导损失，提高有效热流量交换。通过对传感器的ANSYS仿真及性能测试，验证了设计的合理性及工艺的可行性。分析得出采用热隔离通孔可有效提高4个探测器的灵敏度，降低了加热电极的热传导损失，减小了传感器设计尺寸，提高了设计的集成度。传感器测试结果表明：最大角度差为5&#176；，速度误差小于0.5 m/s。加热功耗为120 mW，响应时间仅3 s。

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