作者:Jay Esfandyari,Paolo Bendiscioli,Gang Xu 单位:上海贝岭股份有限公司 出版:《集成电路应用》2012年第02期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFJCDL2012020100 DOC编号:DOCJCDL2012020109 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • MEMS传感器包括加速度计、陀螺仪、磁力计、压力传感器和麦克风,因其具有低成本、小尺寸、低功耗、高性能等特性,近几年来被大量集成到便携设备中。

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