作者：刁爱民,杨明国,刘树勇,杨庆超,胥震 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2012年第12期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2012120020 DOC编号：DOCYBJS2012120029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微机械电容式加速度传感器的设计与加工工艺》PDF+DOC2012年第10期 胥震,欧阳清,施冠羽,易定和 《一种扭摆式硅微机械加速度传感器》PDF+DOC2006年第08期 毋正伟,陈德勇,杨苗苗,徐磊 《硅体微机械叉指电容式加速度传感器设计研究》PDF+DOC1998年第02期 熊幸果,邹强,陆德仁,王渭源 《加工对称梁岛结构的微机械加工新技术》PDF+DOC1996年第04期 陶盛,马青华 《微小差分电容检测技术的研究》PDF+DOC2004年第03期 朱武,张佳民,熊斌,车录锋,王跃林 《电容式加速度传感器结构的计算机仿真》PDF+DOC2002年第06期 吝海锋,杨拥军,郑锋 《侵彻武器用MEMS大g值加速度计》PDF+DOC2002年第03期 屈新芬,苏伟 《微机械制造技术及应用》PDF+DOC2002年第09期 于云霞,贾宝贤,陆富荣 《MMA8451Q 3轴电容式MEMS加速度传感器》PDF+DOC2010年第11期 《带有自动标定功能的电容式燃油传感器设计》PDF+DOC2014年第07期 张润臣,鲍康胜,黄鹤

    • 微机械加速度传感器的检测模态特征频率和有效量程是进行传感器设计时必须要考虑的2个重要参数。文中在对传感器检测模态频率进行有限元分析的基础上，利用电路仿真软件Multisim对传感器等效电路进行了谐振频率分析，并根据线性度指标求得了传感器的有效量程，为微机械加速度传感器的设计提供了参考。

    📙 相关资料

    1. 《微机械电容式加速度传感器的设计与加工工艺》PDF+DOC 对定齿偏置电容式加速度传感器进行了参数设计和优化。通过有限元仿真分析软件计算出其特征频率与典型振动模态，结果表明：传感器具有较大的频率响应范围，检测模态特征频率远小于其他模态，有效减小了交叉干扰。最后，给出了基于MEMS技术的电容式加速度传感器的加工工艺。...
    2. 《一种扭摆式硅微机械加速度传感器》PDF+DOC 介绍了一种基于体硅微机电系统(MEMS)工艺制作的扭摆式硅微机械加速度传感器，对制作过程的一些工艺问题进行探讨，并提出相应的解决办法，主要涉及到硅-玻璃阳极键合、结构释放等关键工艺。对测试结果进行了初步分析，分辨力可以达到1mgn，测试&#177；1gn范围内线性度可以达到99.99%。...
    3. 《硅体微机械叉指电容式加速度传感器设计研究》PDF+DOC 提出了一种硅体微机械加工叉指电容式加速度传感器结构，对其工作原理，器件性能优化设计与制作工艺流程进行了分析，得出优化的结构参数。本结构的电容值比ＡＤＸＬ５０加速度传感器大２０倍以上，同时可避免器件与衬底材料的寄生电容。这种结构的传感器对界面电路的要求较低，更便于制出集成化处理电路。...
    4. 《加工对称梁岛结构的微机械加工新技术》PDF+DOC 本文报道了一种用无掩模腐蚀技术加工对称梁岛结构的微机械加工技术。根据硅台阶在ＫＯＨ无掩模腐蚀下形状和尺寸的变化规律，可以设计制造出一般掩模腐蚀难以形成的微机械对称梁岛结构。由于该技术工艺简单，易于控制，为制作对称梁岛结构的硅电容加速度传感器提供了新的加工手段。...
    5. 《微小差分电容检测技术的研究》PDF+DOC 在MEMS电容式加速度传感器的测试中，由于受单放大器开环增益有限的影响，提高加速度计的分辨力和稳定性是非常困难的.针对这种情况，本文采用组合放大器和地对地解调等先进技术对高频小信号进行高精度处理，实验结果表明，电路可检测的最小差分电容可达到5aF(5&#215；10-18F)。...
    6. 《电容式加速度传感器结构的计算机仿真》PDF+DOC 针对硅梁论述了微机械电容式加速度传感器的工作原理，应用有限元分析方法对三种不同的硅梁结构对加速度计进行结构建模，并模拟分析了三种不同的梁的加速度计结构的第一和第二模态，1g加速度下的挠度，以及存在预应力情况下结构的第一、第二模态响应频率，得到了最优的双梁结构，并在试验中得到验证，最终研制出了高水平的......
    7. 《侵彻武器用MEMS大g值加速度计》PDF+DOC 侵彻武器穿入地面等坚硬物质的加速度可达重力加速度的2万倍至几十万倍，要求所用加速度传感器既能抗击该工作环境，又能识别冲击与钻入的整个过程。美国侵彻武器用MEMS大g值加速度计属电容传感器，其工作原理采用2个电参数完全相同的电容，1个作检测电容，1个作参考电容，将被测加速度值的变化转换成电容量的变化而......
    8. 《微机械制造技术及应用》PDF+DOC 介绍了微机械的制造技术和应用实例，并透视了微机械的市场前景。...
    9. 《MMA8451Q 3轴电容式MEMS加速度传感器》PDF+DOC MMA8451Q是一款具有14位分辨率的智能低功耗、三轴、电容式微机械加速度传感器。这款加速度传感器具有丰富的嵌入式功能，带有灵活的用户可编程选项，可以配置多达两个中断引脚。嵌入式中断功能可以节省整体功耗，解除主处理器不断轮询数据的负担。同时具备访问低通滤波数据和高通滤波数据的功能，可以将所需的数据......
    10. 《带有自动标定功能的电容式燃油传感器设计》PDF+DOC 电容式燃油传感器由于其结构简单、测量精度高，代表着汽车燃油传感器的一个重要的发展方向。然而这种测量方法需要预知被测燃油的介电常数，且测量结果与该介电常数紧密相关，为保证测量的准确性需要定期标定被测介电常数，因此限制了该方法的广泛使用。针对这些问题，提出带有自动标定功能的电容式液位传感器的设计方法，通......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。