作者：郑志霞,黄元庆,冯勇建 单位：天津理工大学 出版：《光电子·激光》2012年第12期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGDZJ2012120040 DOC编号：DOCGDZJ2012120049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 根据Fabry-Prot(F-P)腔的干涉原理，采用微机电系统(MEMS)工艺，研制出一种用于义齿压力检测的F-P腔光纤微型压力传感器。传感器膜片厚为6μm，膜片边长为100μm。在与义齿基托相同材料的树脂底基上，挖边长为1.2mm、深度为0.8mm平整的方形小坑，将传感器分布式埋植入底基，并用自制的施加压力的装置对传感器加压测试。用双波长方法解调干涉信号，用阵列波导光栅(AWG)复用传感器，从而实现对口腔义齿下方组织压力的分布式测量。测量结果表明，当义齿加载0～0.6MPa压力时，系统的相对反射率比值/压力可达0.020 1/MPa，测量结果具有良好的线性度，测量系统的复用能力强，且复用传感器之间没有串扰，适用于义齿对口腔下方组织压力的分布式测量。

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