作者：曹河,董恩生,范作宪,庞宇 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2012年第12期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2012120080 DOC编号：DOCCGQJ2012120089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 通过电磁场有限元分析软件ANSYS仿真同面双电极结构电容传感器在极板长、宽、间隙的不同组合下对电容变化率的影响，得出极板长、宽、间隙的最佳组合，构建了同面八电极电容传感器，分析比较在地屏蔽、极间屏蔽、外围屏蔽下传感器极板间电位分布和在不同屏蔽下传感器的灵敏度。仿真表明：增加屏蔽后不仅可以提高传感器的灵敏度，还可以获得比较均匀的敏感场。仿真研究结果为同面多电极电容传感器的结构设计提供了依据。

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