作者：李金凤,刘沁,张治国,曹顺 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《半导体技术》2012年第12期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTJ2012120020 DOC编号：DOCBDTJ2012120029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 基于标准CMOS工艺设计了一款集成热真空传感器、运算放大器、逐次逼近型模数转换器(SAR ADC)、数字信号处理电路的传感器系统。工作在恒电流模式的传感器，气压敏感区间为1～105Pa。运算放大器(OPAMP)的输入级采用互补差分对获得轨至轨的共模输入范围。为满足精度要求，对SAR ADC中数模转换器电容阵列进行优化设计，并采用输出失调存储技术消除比较器的失调电压。数字电路采用查表法将电压信号变换为气压值。结果表明：运算放大器能无失真地驱动200Ω电阻，模数转换器的有效位为9.5 bit。运算放大器、模数转换器、数字信号处理电路性能良好，满足传感器系统要求。

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