作者：高仁璟,赵剑 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2012年第10期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2012100040 DOC编号：DOCCGJS2012100049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对微小集中质量测量问题，提出并制备了一种梯形变截面悬臂梁式微质量传感器，建立了梯形变截面悬臂梁式微质量传感器的振动分析模型。采用有限元方法求解其振动控制方程，获得了微质量传感器的灵敏度。仿真分析结果表明，相对于等截面矩形悬臂梁式微质量传感器，单层压电和双层压电结构的变截面悬臂梁传感器的灵敏度分别提高了127.00%和263.00%。采用线切割工艺，加工制备了单压电层梯形变截面结构的微质量传感器并对传感器进行了实验测试，在误差允许范围内，仿真结果与实验结果基本一致，验证了采用梯形变截面悬臂梁式结构可以有效的提高传感器的灵敏度。

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