作者：王文君,刘武,张卫平,陈文元,杨春生,崔峰,吴校生 单位：上海交通大学 出版：《上海交通大学学报》2012年第06期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSHJT2012060270 DOC编号：DOCSHJT2012060279 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计了一种基于微机电系统的、制备在柔性聚酰亚胺衬底上的双热线结构微型热剪切应力传感器阵列，可用于复杂形状物体表面所受剪切应力的矢量化测量.基于传感器的原理，用Comsol软件对传感器进行了温度场和流场的仿真，说明了传感器制作工艺流程，用硅橡胶与聚酰亚胺在酒精中浸泡后易于剥离的特点实现柔性传感器脱膜.对传感器实物进行了温度电阻系数和响应频率的测试.实验结果表明，设计的工艺路线简单，结构参数合理，可以实现所需柔性传感器阵列。

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