作者：刘林仙,张国军,许姣,张慧,李振,张文栋 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2012年第09期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2012090120 DOC编号：DOCCGQJ2012090129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对在同一个物理测试过程中，往往会遇到很多所需测量振动信号的大小和频率在大范围内变化，而一个振动传感器很难满足测试要求的情况，提出了一种四单元集成阵列式仿生矢量振动传感器，4个微结构传感器量程分别为：10，100，500，1 000 gn。在分析敏感结构数学模型的基础上，用ANSYS软件对阵列敏感元件进行仿真，最后对加工好的传感器进行了相关的测试。测试结果表明：该阵列式振动传感器在二维方向的灵敏度高，线性度好，输出稳定性好。量程为100 gn传感器x向灵敏度为2.6134 mV/gn，线性度为0.99991，y向灵敏度为2.5563 mV/gn，线性度为0.99968。

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