作者：郑志霞,黄元庆 单位：中国光学学会;中国科学院西安光学精密机械研究所 出版：《光子学报》2012年第12期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGZXB2012120190 DOC编号：DOCGZXB2012120199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 基于法布里-帕罗腔的干涉原理，采用微机电系统技术加工制作了一种光纤微机电系统压力传感器.采用浓硼扩散自停止腐蚀和磁控溅射的方法，制备厚度为6μm、机械灵敏度为0.502μm/MPa的传感器敏感膜.基于强度解调技术，利用干涉腔的反射功率与压力的关系对压力进行解调.分析了腔长变化对反射率的影响，确定传感器线性工作点的波长，建立稳定的压力传感测试系统.测试结果表明，该传感器压强最小分辨率为62Pa，灵敏度达到0.51nW/KPa，具有良好的线性度、灵敏度和重复性，适用于人体内压力测量和口腔义齿压力测量。

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