作者：石云波,赵锐,唐军,刘俊,李科杰 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2012年第09期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2012090110 DOC编号：DOCCGJS2012090119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种大量程加速度传感器的性能测试》PDF+DOC2013年第06期 周智君,石云波,唐军,丁宇凯 《不等高梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器》PDF+DOC2011年第08期 许高斌,朱华铭,陈兴 《基于MEMS的摔倒检测和定位系统设计》PDF+DOC2017年第12期 翁佩纯,张远海 《一种低噪声MEMS电容式加速度传感器的设计》PDF+DOC2019年第12期 周岩,李彦哲,李金平,孙风光 《MEMS传感器在动态测试中的应用》PDF+DOC1998年第03期 翟成瑞,张文栋,周勇军,张斌珍,梁天波 《基于MEMS加速度计和陀螺仪的姿态检测系统》PDF+DOC2012年第03期 赵翔,杜普选,李虎,杨浩淼 《一种高量程加速度传感器的性能测试与分析》PDF+DOC2016年第05期 陈艳香,石云波,智丹,杨志才,邹坤,冯恒振 《MEMS传感器在汽车性能测试中的应用》PDF+DOC2010年第07期 亓凤,顾青 《一种压阻式三轴加速度传感器的设计》PDF+DOC2006年第05期 孙剑,赵玉龙,苑国英,蒋庄德,徐敬波 《引信用MEMS加速度传感器敏感元件的设计》PDF+DOC2006年第07期 石云波,祁晓瑾,刘俊

    • 对设计的单片三轴MEMS大量程加速度传感器进行了马歇特锤冲击测试和Hopkinson杆冲击校准试验，得到了三轴加速度传感器冲击过载信号及其各轴向的横向灵敏度比、线性度等关键参数。测试结果表明该三轴传感器在受到117 395.95 gn以上的冲击信号作用时，传感器各轴仍然能够正常工作；其三轴轴向灵敏度均能达到0.1μV/gn以上，各敏感轴受到轴向加速度时其线性度小于6%，轴间横向灵敏度比小于10%。

    📙 相关资料

    1. 《一种大量程加速度传感器的性能测试》PDF+DOC 设计的一种大量程加速度传感器敏感单元采用一对双端固支结构，实现硅平面内加速度的测量，通过马歇特锤冲击测试试验和Hopkinson杆激光干涉冲击测试，分别标定了传感器的灵敏度和动态响应，试验结果表明：测试传感器的灵敏度为0.126μV/gn，工作频带为21.46 kHz，工作频带的动态重复性为3.9%......
    2. 《不等高梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器》PDF+DOC 利用ICP体硅深加工，本文设计分析了一种三轴三质量块的电容式加速度传感器。水平方向采用定齿偏置配置梳齿式，垂直方向采用不等高对称梳齿式；对称的布局方式，解决了各个轴向的相互干扰问题。利用有限元分析工具对设计进行模拟，证实了设计的合理性和可行性。X、Y轴向和Z轴向的灵敏度分别为1.2 fF/g和1.0......
    3. 《基于MEMS的摔倒检测和定位系统设计》PDF+DOC 为解决老年人日常生活中的摔倒检测和定位问题，设计了可穿戴式老年人摔倒检测和定位系统。采用低功耗的STM8S系列芯片，通过MEMS三轴加速度传感器完成人体三轴加速度数据的采集和处理，使用卡尔曼滤波算法进行噪声剔除，实现了三级检测阈值摔倒检测算法，北斗GPS双模定位模块获得地理定位信息，GPRS模块进行......
    4. 《一种低噪声MEMS电容式加速度传感器的设计》PDF+DOC 基于差分电容原理和MEMS技术，设计了一种低噪声MEMS电容式加速度传感器。该加速度传感器包括一个敏感芯片和一个采用变送集成技术的信号调理电路。通过优化敏感芯片的结构和低噪声的信号调理电路相结合，制作出加速度传感器。利用MEMS技术制作的微结构封装的加速度传感器经过测试，验证了该传感器具有高灵敏度，......
    5. 《MEMS传感器在动态测试中的应用》PDF+DOC 本文在简单介绍 MEMS 传感器的基础上，重点介绍了有 MEMS 传感器构成的测量系统，及其在高过载低量程测量中的应用。...
    6. 《基于MEMS加速度计和陀螺仪的姿态检测系统》PDF+DOC 本文根据微机电系统(MEMS)加速度传感器的工作原理和特点，对姿态检测系统的原理、组成以及数据采集进行了研究。提出了一种基于MEMS三轴加速度传感器和陀螺仪的倾角检测系统的实现方法。采用加速度计和陀螺仪的数据融合，有效地提高姿态检测系统的检测精度。...
    7. 《一种高量程加速度传感器的性能测试与分析》PDF+DOC 针对一种基于微梁检测结构的新型双轴MEMS面内高量程加速度传感器，通过马歇特锤冲击校准装置和霍普金森杆冲击校准装置，测试了传感器的灵敏度和频响特性。试验结果表明：该传感器敏感结构X轴方向的灵敏度为0.470&#177；0.03μV/g，幅值误差&#177；5%时，工作频带为15.5 ......
    8. 《MEMS传感器在汽车性能测试中的应用》PDF+DOC 针对目前用于检测汽车制动性能与机动车方向盘转向力-转向角的仪器存在体积庞大、安装复杂、连线繁多、操作技术要求高等特点，提出了采用MEMS型加速度传感器和陀螺传感器为核心检测元件制成的汽车制动性能测试仪器。该测试仪具有便携化、智能化等优点，针对性地解决了以上困扰，为MEMS传感器的应用扩展了新领域。...
    9. 《一种压阻式三轴加速度传感器的设计》PDF+DOC 介绍了一种基于SOI的硅压阻式三轴加速度传感器的设计和制备.该三轴加速度传感器采用四个相互垂直的悬臂梁支撑中间质量块的结构.加速度传感器通过利用合理布置的压敏电阻构成的惠斯通电桥测量三个方向的加速度.对加速度传感器结构进行了理论分析和有限元仿真优化，确定加速度传感器的结构尺寸，并详细论述了三轴加速度......
    10. 《引信用MEMS加速度传感器敏感元件的设计》PDF+DOC 根据引信环境信息探测的要求，设计了一种新型MEMS高g值压阻式加速度传感器敏感元件。通过ANSYS仿真对该结构进行了量程分析、抗过载分析、灵敏度分析及横向灵敏度分析，提供了一种新的阻尼设计方法。结合过载保护设计，较好地实现了结构阻尼控制与过载保护的融合。最后设计了一套可行的加工工艺。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。