作者：阮建斌 单位：天津市电子仪表信息研究所 出版：《数字技术与应用》2012年第09期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSZJT2012090590 DOC编号：DOCSZJT2012090599 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • MEMS传感器作为一种新型的、前景广阔的、用途广泛地传感器，正日益得到各国研究人员的广泛重视。本文在介绍MEMS传感器的特点和种类的基础上，详细介绍了AD公司的MEMS双轴加速度传感器ADIS16209的原理、结构以及使用方法等，并设计了基于ADIS16209的倾角测量仪的原理图及开发电路板。

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