《高冲击环境下MEMS大量程加速度传感器结构的失效分析》PDF+DOC
作者:唐军,赵锐,石云波,刘俊
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2012年第04期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2012040140
DOC编号:DOCCGJS2012040149
下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《全新6英寸MEMS生产线落成美泰科技迈向国际一流MEMS企业》PDF+DOC
《高g_n值MEMS加速度传感器封装的研究》PDF+DOC2002年第06期 黄卫东,彩霞,徐步陆,罗乐,程兆年
《封装对MEMS高G值传感器性能的影响》PDF+DOC2002年第03期 黄卫东,彩霞,徐步陆
《MEMS高g加速度传感器高过载能力的优化研究》PDF+DOC2011年第07期 石云波,李平,朱正强,刘俊,张晓明
《高量程加速度传感器在测试中的失效分析》PDF+DOC2011年第10期 张贺,石云波,唐军,赵锐,刘俊
《MEMS高g加速度传感器封装贴片技术的研究》PDF+DOC2011年第09期 郭涛,徐雁,李平
《MEMS高g加速度传感器固有频率的优化及验证》PDF+DOC2010年第03期 李平,石云波,朱正强,杜康,刘俊
《一种高冲击MEMS加速度传感器的仿真与优化》PDF+DOC2015年第05期 侯帅,张振海,林然,张东红,李科杰,柳新宇,张亮,李治清,李剑,许涛,何昫,史秀峰
《博世新型MEMS加速度传感器面市》PDF+DOC2012年第47期
《基于梁膜结构的MEMS高g值加速度传感器》PDF+DOC2014年第02期 李晓博,赵玉龙,程荣俊
对设计的大量程加速度传感器进行冲击测试,分析该种传感器结构在高冲击环境下的输出信号及可靠性。加速度传感器结构采用四端全固支结构,通过在梁的端部和根部设计倒角结构以分散应力。测试结果表明该传感器在232,119.4 gn下可以测试到有效输出信号。同时,对测试中失效传感器进行了分析,总结出大量程加速度传感器的在高冲击环境下的失效模式主要为键合引线的脱落、微梁的断裂和封装失效。
提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。