《真空微电子加速度传感器闭环控制模型仿真与实现》PDF+DOC
作者：范金焰,温志渝,陈李,温中泉,刘海涛
单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所
出版：《压电与声光》2012年第02期
页数：4页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFYDSG2012020170
DOC编号：DOCYDSG2012020179
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为提高真空微电子加速度传感器的线性度，提出了基于数字PID控制算法的真空微电子加速度传感器闭环控制方法。建立了真空微电子加速度传感器闭环控制模型，进行仿真分析。设计制作以TMS320VC5416DSP为核心的控制电路，实现了真空微电子加速度传感器的闭环控制。实验结果表明，在±；10m/s2)的测量范围内，加速度计的标度因数为0.212 7，满量程输出电压为0.427 3V，非线性度≤0.98%。该电路能较好的实现真空微电子加速度传感器的闭环控制。
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