作者：郭海林,王晓雷 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2012年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2012020030 DOC编号：DOCYBJS2012020039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了提高油液的在线监测水平，研制了一种基于电感测量的铁磁性颗粒传感器，用MEMS工艺制作了一种平面线圈型的传感器并分析了其工作原理。设计了信号处理电路，对传感器的性能进行了实验研究。结果表明：颗粒含量在10～100 mg时，传感器具有良好的线性度，灵敏度为7.145 5 V/g，该传感器可以分辨5 mg的铁屑含量，输出稳定，为油液的在线监测提供了一种新的检测元件。

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