作者：曹乐,樊尚春,邢维巍 单位：中国航空工业集团公司;北京长城计量测试技术研究所 出版：《计测技术》2012年第S1期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHKJC2012S10340 DOC编号：DOCHKJC2012S10349 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • MEMS压力传感器是基于MEMS技术的小型化、低功耗、低成本、高准确度的压力测量器件，广泛应用于各行业领域。本文首先介绍了压阻式、电容式和谐振式压力传感器的工作原理，然后研究了三种压力传感器的关键技术，并针对应用做了简要分析，最后给出了MEMS压力传感器研究方面的几点建议。

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