作者：李正伟,余永,吴倩,葛运建 单位：上海仪器仪表研究所;上海市仪器仪表学会;中国仪器仪表学会汉字信息处理系统研究会 出版：《仪表技术》2012年第11期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJI2012110180 DOC编号：DOCYBJI2012110189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了能有效地检测PZT驱动器纳米级的驱动位移，文章提出一种采用基于柔性铰链的多级杠杆放大原理的新型纳米位移传感器。与前三代纳米位移传感器相比，新型传感器采用差动结构以及圆筒状的外形，传感器的这种独特结构赋予其较大的机械放大比；同时，建立了其理想数学模型并计算了机械放大比。为了证明传感器的有效性，对其进行了有限元仿真分析。分析结果表明新型纳米位移传感器具有较大的应变输出，且其位移分辨率将小于3 nm。

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