作者：贺晓雷,迟晓珠,唐胜武,赵佳龙 单位：北京无线电技术研究所 出版：《电子测量技术》2012年第06期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZCL2012060020 DOC编号：DOCDZCL2012060029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 采用SOI(silicon-on-insulator)材料，设计并制作了双岛敏感结构，通过绝缘层隔离，消除PN结噪声，提高信噪比、线性度及重复性。利用敏感电阻的温度特性直接测量环境温度，进行温度补偿，提高了补偿的准确性，最后通过试验数据说明传感器的精度达到了气象使用要求。

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