《基于游标干涉的新型高灵敏度微环传感器》PDF+DOC
作者:张晓光,吴远大,王玥,安俊明,张家顺,谢亮,胡雄伟
单位:中国电子科技集团第四十四研究所
出版:《半导体光电》2015年第02期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTG2015020020
DOC编号:DOCBDTG2015020029
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设计并分析了一种基于游标效应的光学传感器。采用截面尺寸为220nm×;500nm的SOI矩形波导来进行分析。传感器的灵敏度为4.5×;104 nm/RIU,探测极限低于10-4 RIU。该传感器最重要的优点是,即使器件有很高的传输损耗和低的Q因子,仍有很高的灵敏度和低的探测极限。分析了热光效应对基于游标效应传感器的影响。分析结果也同样适用于其他基于游标效应的传感器。
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