作者：余建平,王文,卢科青,李欣 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2015年第03期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2015030110 DOC编号：DOCCGJS2015030119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出实现大量程X-Y-θ三自由度位移测量的栅式电容位移传感器设计并分析其测量特性。考虑偏航角误差影响，建立典型直线型栅式电容位移传感器偏航角误差模型，分析偏航角误差对线性位移测量精度的影响。并依此提出X-Y-θ三自由度位移测量新方法，通过和差化积解耦算法分离偏航角误差对X-Y线性位移测量的影响，同时输出偏航角位移量。实验结果表明，所设计的传感器偏航角位移θ为0.2&#176；，0.4&#176；，0.8&#176；和2.0&#176；时，X-Y线性位移信号的非线性度维持在0.24%~0.62%之间，拟合输出偏航角位移信号的最大误差量不超过0.01&#176；。三自由度位移量解耦效果明显，测量稳定性得到显著改善。

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