作者：赵源深,杨丽红 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2012年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2012020020 DOC编号：DOCCGQJ2012020029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 随着低维材料技术的发展和对测温要求的提高，薄膜热电偶温度传感器应运而生，其快速响应特性为测量瞬变温度提供了可能。综述了薄膜热电偶温度传感器国内外发展现状，着重介绍了薄膜临界厚度的确定、扩散现象的影响、制备工艺等关键技术，并对其未来发展做出了展望。

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