《薄膜型钯-铬合金氢气传感器技术研究》PDF+DOC
作者:肖友文,景涛,谢贵久,张建国,王玉明,章良
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》2012年第11期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS2012110040
DOC编号:DOCYBJS2012110049
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文中介绍了采用Pd-Cr合金作为氢敏材料,利用MEMS加工技术制备薄膜型氢气传感器。测试了传感器对0~4%浓度范围氢气的敏感特性,结果显示,传感器对0~4%氢气浓度具有良好的线性输出特性,并表现出较高的响应灵敏度和较好的响应重复性。
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