《36°YX-LiTaO_3/SiO_2结构Love波气体传感器研究》PDF+DOC
作者:陈桂,王文,谢晓,何世堂
单位:中国电子科技集团公司第二十六研究所
出版:《压电与声光》2015年第03期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYDSG2015030040
DOC编号:DOCYDSG2015030049
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该文研究了一种覆盖六氟-2-羟基异丙基聚硅氧烷(SXFA)敏感膜,并针对有机磷化学物检测的新型Love波传感器,采用36°;YX-LiTaO3与SiO2分别作为Love波延迟线器件的压电基底与波导层材料。将所研制的Love波器件作为差分振荡器的频率控制单元,结合SXFA敏感膜,开展了针对甲基磷酸二甲(DMMP)的气体传感实验,分析了不同波导层膜厚对Love波传感器气体响应的影响,并与传统瑞利型声表面波模式的气体传感器性能进行了对比,实验结果显示,Love波模式传感器表现出高灵敏度特性。
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