作者：吴礼峰,殷晨波,朱亚军,杨柳,唐光大 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2015年第03期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2015030010 DOC编号：DOCYBJS2015030019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 基于ANSYS13.0建立了声表面波(SAW)传感器的三维有限元模型，选择金属钯膜作为传感器敏感薄膜，选用128&#176；YX铌酸锂作为基底材料，输入和输出叉指电极(IDT)耦合在基底表面。给输入IDT施加单位阶跃信号，并对所得到的时域响应数据进行傅里叶变换得到传感器的中心频率和插入损耗。将仿真所得频率特性与实验结果进行对比，得到了可以降低插入损耗、提高传感器性能的方法。

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