《移动互联网络时代MEMS技术的创新发展(续)》PDF+DOC
作者:赵正平
单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
出版:《微纳电子技术》2013年第07期
页数:8页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTQ2013070020
DOC编号:DOCBDTQ2013070029
下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《新型便携式薄膜体声波谐振气体传感器的研制与应用》PDF+DOC2016年第05期 唐宁,常烨,刘晶,屈贺幂,张代化,庞慰,段学欣
《一种集成微流道的薄膜体声波液体浓度传感器》PDF+DOC2017年第06期 刘梓枫,梁骥,张孟伦
《光激励硅微机械谐振式传感器的进展》PDF+DOC1999年第04期 刘月明,刘君华,张少君
《光激、光拾硅微机械谐振传感器的进展》PDF+DOC1999年第01期 吴浩扬,李炳乾,朱长纯,刘君华
《产品·市场·信息》PDF+DOC1991年第04期 徐强
《选择性化学机械抛光制作微拱形结构》PDF+DOC2013年第04期 杨增涛,王华,曾德平,陈俊,赵纯亮
《松花江中意HFJ6371C微型客车线束图解》PDF+DOC2009年第10期 李自广
《基于薄膜体声波谐振器的高灵敏度质量传感器》PDF+DOC2008年第02期 马绍宇,韩雁,董树荣,李侃,周海峰
《开关警示器的设计》PDF+DOC2008年第15期 刘继广,王海洋
《静电激励硅微机械谐振压力传感器设计》PDF+DOC2014年第01期 任森,苑伟政,邓进军,孙小东
1.6 RF MEMS1979年第一个RF MEMS诞生,是Si上的微机械薄膜开关,经多年的发展,RF MEMS主要包含薄膜体声波谐振器(FBAR)、微机械谐振器、电容开关/变容器和金属接触开关等。RF MEMS的诞生为射频电路中无源元件的小型化开辟了新的
提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。