《Fe_2O_3-In_2O_3复合薄膜光波导传感元件检测二甲苯气体的研究》PDF+DOC
作者:姑丽各娜·买买提依明,阿布力孜·伊米提
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》2013年第04期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS2013040040
DOC编号:DOCCGJS2013040049
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采用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备出氧化铁-氧化铟复合材料,利用提拉法将复合材料固定在锡掺杂玻璃光波导表面研究出能够检测二甲苯气体的Fe2O3-In2O3复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件。将气敏元件固定在气体检测系统中对挥发性有机气体进行检测。实验结果表明,Fe2O3-In2O3复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件对二甲苯气体具有较好的响应,其响应浓度范围为1×;10-3~1×;10-5(V/V)。在常温下该敏感元件对于浓度为1×;10-5(V/V)的二甲苯蒸汽有比较明显响应,其响应和恢复时间分别为5s和20s。Fe2O3-In2O3复合薄膜/锡掺杂玻璃光波导气敏元件具有灵敏度高、响应速度快、制作工艺简单和可逆性好等特点。
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